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G1 蒸鍍機
規格&簡(jiǎn)介K-200plus G1 OLED 蒸鍍機基板尺寸200x200mm glass or 8”waf···
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G2 蒸鍍機(研發(fā)中)
P-400 G2 IN-LINE 蒸鍍機基板尺寸300x400mm glass應用領(lǐng)域PMOLED、薄膜太陽(yáng)能電池、OTFT對位精度≦2···
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VR 器件開(kāi)發(fā)機
基板尺寸8”wafer應用領(lǐng)域VR Micro-OLED 器件研發(fā)點(diǎn)源配置有機源13支,金屬源3支腔內布局分二區,金屬有機分離是否有LL有,磁力桿傳送
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Bottom-device實(shí)驗機
基板尺寸32x32玻璃基底(4片每次)應用領(lǐng)域底發(fā)射OLED&鈣鈦礦器件點(diǎn)源配置有機舟8支,金屬舟2支腔內布局單體機是否有LL否
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MT(材料驗證機)
基板尺寸100x100玻璃基底(tray盤(pán))應用領(lǐng)域OLED器件研發(fā)&材料驗證點(diǎn)源配置有機源16支,金屬源3支腔內布局OC、MC分二腔,或者合并分四區是否有LL有,配進(jìn)口Robot
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Top-device研發(fā)機
基板尺寸50x50玻璃基底(8片每次)應用領(lǐng)域頂發(fā)射OLED器件研發(fā)點(diǎn)源配置有機源12支,金屬源2支腔內布局單體機(金屬&有機源分隔)是否有LL否