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MPCVD系統
基底尺寸2”or 4”wafer應用領(lǐng)域金剛石外延片生長(cháng)微波源德國進(jìn)口微波源氣體純度7N生長(cháng)溫度800℃~1100℃等離子體溫度5000℃~6000℃腔體不銹鋼雙層腔體+水冷
基底尺寸 | 2”or 4”wafer |
應用領(lǐng)域 | 金剛石外延片生長(cháng) |
微波源 | 德國進(jìn)口微波源 |
氣體純度 | 7N |
生長(cháng)溫度 | 800℃~1100℃ |
等離子體溫度 | 5000℃~6000℃ |
腔體 | 不銹鋼雙層腔體+水冷 |
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